램테크놀러지

PRODUCTS 전자재료 화학소재 국산화를 통해
글로벌 고객사의 안정적인 SCM 구축에 기여하고 있습니다.

제품소개

당사의 Process Chemical은 폐 유기용제의

국내외 Global Fab으로부터 Recycle system을 활용하여 귀사의

오랜 기간 검증받은 제품입니다. ESG경영정책을 보조하겠습니다.

반도체

Solar Cell

DISPLAY

2차 전지

항목소개

01 식각액

반도체, 디스플레이 및 기타 Chip 제조 공정 회로패턴을 형성해 주기 위해 필요없는 부분을 선택적으로 제거하는 공정에 사용되는 화학물질

02 박리액

반도체 또는 기타 칩 제조 공정 중 식각 공정 후 남아 있는 감광제 및 고분자 폴리머를 제거하는 공정에 사용되는 화학물질

03 세정액

Chip 제조 공정 중 전 스텝 시 발생 될 수 있는 유무기 오염물질을 제거하기 위한 화학약품, AMOLED 제조 공정 중 메탈 마스크의 증착재료 세정에 사용되는 화학물질

04 용해액

Photoresist & DFR Film 등 반도체 및 디스플레이 감광제를 제거하는 공정에 사용되는 화학물질

05 증착액

반도체 웨이퍼 표면위에 산화막 증착 공정시 실리콘(Si) Source로 사용되는 화학물질(산화막형성제)

06 2nd-Battery

2차 전지 제조 공정중 양음극 활물질 결합력을 높여주기 위한 접착제 등

케미컬표

사업 분야	분류	제품	Applications
반도체 (Memory, NAND, 3D-NAND, System LSI, Power chip 등)	Cleaning	Al Stripper	- Dry etch 후 PR, Residue 제거 - 해외 Al stripper 국산화 제품 - 용기 : DRUM, BOTTLE
		Cu Stripper	- Dry etch 후 Residue 제거 - 수계 Stripper - 용기 : DRUM
		NH4OH	- NH4OH : SC-1 Cleaner - 용기 : Tanklorry, DRUM, BOTTLE
	Etch	HF	- 실리콘 산화막(SiO2)의 식각액 - 공업급, 솔라급, 반도체급 취급중 - 용기 : Tanklorry, DRUM, BOTTLE
		BOE (Buffered Oxide Etchant)	- 실리콘 산화막(SiO2)의 식각액 - Etch Rate별 라인업을 보유중 (15Å ~5000Å) - 용기 : DRUM, BOTTLE
		H3PO4 (Silicon Nitride Etchant)	- 실리콘 질화막(Si3N4)의 선택적 식각액 - 용기 : Tanklorry, DRUM, BOTTLE
	Dopants	TEOS (Tetraethyl Orthosilicate)	- 실리콘 산화막(SiO2) 증착액 - 용기 : Canister(170kg, 15kg)
Display (OLED, LCD, TSP, LED)	Cleaning	Al Stripper	- Dry etch 후 PR, Residue 제거용 - 해외 Al stripper 국산화 제품 - 용기 : DRUM, BOTTLE
	Cleaning	NMP	- Mask Cleaner - 폐액 회수->정제->공급을 통한 Recycle system 보유중 - 용기 : Tanklorry, DRUM
	Etching	Cu Etchant	- 다양한 Substrate별 Etchant 보유중
		AI Etchant
		ITO Etchant
		Cu Etchant
		Ti Etchant
2차 전지	Solvent	NMP	- 2차전지용 유기용제폐액 회수->정제->공급을 통한 Recycle system 보유중 - 용기 : Tanklorry, DRUM
2차 전지	Binder	PVDF Binder Solvent	- PVDF + NMP solution

일괄 소재 순환 공정

독자생산 시스템

Recycle Business

주요 고객사